軟性玻璃加工主要針對冰洲石（CaCO?）、氟化鈣（CaF?）等低硬度、高熱敏性光學晶體，其核心挑戰在于解理特性（冰洲石易沿晶面裂開）和軟質表面（莫氏硬度3-4）導致的加工缺陷控制。關鍵技術包括：(1)低溫恒溫拋光，通過制冷平臺維持20±0.5℃環境抑制熱膨脹；(2)解理面自適應加工，針對冰洲石的各向異性采用振動輔助金剛石車削，刀具傾角動態調整至±2°以內；(3)非水基拋光液化學機械拋光（如乙二醇基），避免氟化鈣的水解腐蝕。此類材料加工后需超凈封裝防止潮解，廣泛應用于紫外光刻鏡頭（CaF?）和偏振光學系統（冰洲石棱鏡），面形精度可達λ/20（@632.8nm）。
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