異形鏡面加工是針對非球面、離軸、自由曲面等復雜光學表面的精密制造技術，其核心在于突破傳統旋轉對稱幾何的加工限制。這類加工需結合五軸超精密機床的多軸聯動控制和原位檢測補償技術，通過金剛石車削或小工具頭拋光實現微米級面形精度，再借助磁流變拋光（MRF）或離子束修形（IBF）將表面粗糙度降至亞納米級（Ra<0.5nm）。關鍵技術難點包括：(1)刀具路徑規劃，需優化軌跡避免局部過切；(2)各向異性材料處理（如碳化硅或軟性晶體），需動態調整工藝參數；(3)面形誤差閉環修正，通過干涉儀在線測量實現λ/50（λ=632.8nm）的波前精度。異形鏡面可大幅簡化光學系統結構（如離軸三反系統），廣泛應用于空間遙感、激光通信和極紫外光刻等領域，但加工效率僅為傳統球面鏡的1/3-1/5，是典型的高附加值工藝。