2022年1月25日，國家重點研發計劃子課題 “800mm平面干涉儀技術開發”順利通過專家組驗收。
驗收評審會現場
大口徑平面鏡面形精度直接影響各類光學系統制造精度。高精度大口徑平面鏡必須依靠平面面形檢測技術才能得以研制。因此大口徑平面鏡和異形孔徑平面鏡檢測，一直是精密光學制造與天文技術領域的研究熱點。如何實現大口徑平面鏡的高效快速高精度檢測？最直接有效的技術路徑是研制大口徑平面干涉儀。
我國大口徑平面干涉儀長期依賴進口，價格高昂且受制于外國。我公司作為國內大口徑光學測試設備的專業供應商和生產商， 無論從解決國家戰略科學儀器“卡脖子”的角度，還是從科研儀器國產化需求的角度，研制800mm口徑平面干涉儀都責無旁貸。為此，公司聯合南京理工大學，于2018年5月啟動項目研發。
800mm平面干涉儀是重大光學檢測儀器，由光學系統、機械系統、電氣系統、計算機數據處理系統等組成。光學設計部分保證干涉儀波面測試質量、頻率傳遞能力；精密機械部分保證干涉儀標準光學元件的高精度面形質量、氣浮移動和穩定可靠的調整。電路部分保證調整與信號采集過程的自動化；計算機軟硬件部分保證圖像采集與移相算法的同步通訊、控制及圖像處理、波長調諧移相干涉、數據處理、波面分析、Zernike多項式等軟件包的集成與結果輸出。
李金鵬博士為首的研發團隊和南理工團隊緊密合作，攻克多項關鍵技術，于2021年12月完成項目研發。該設備實現了大口徑平面鏡的自動化測量，能排除人工判讀或是復雜實驗步驟對測量的干擾，檢測效率與精度大幅提升。項目擁有完整的自主知識產權，技術完全自主可控。南京理工大學朱日宏教授評價說：“這臺800mm平面干涉儀是當前國內國產化程度最高、口徑最大的平面干涉儀，對于提高我國大口徑光學檢測能力具有重要意義”。
評審專家和項目成員合影
800mm平面干涉儀現場驗收合影