2022年1月25日，國家重點研發(fā)計劃子課題 “800mm平面干涉儀技術(shù)開發(fā)”順利通過專家組驗收。
驗收評審會現(xiàn)場
大口徑平面鏡面形精度直接影響各類光學(xué)系統(tǒng)制造精度。高精度大口徑平面鏡必須依靠平面面形檢測技術(shù)才能得以研制。因此大口徑平面鏡和異形孔徑平面鏡檢測，一直是精密光學(xué)制造與天文技術(shù)領(lǐng)域的研究熱點。如何實現(xiàn)大口徑平面鏡的高效快速高精度檢測？最直接有效的技術(shù)路徑是研制大口徑平面干涉儀。
我國大口徑平面干涉儀長期依賴進口，價格高昂且受制于外國。我公司作為國內(nèi)大口徑光學(xué)測試設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和生產(chǎn)商， 無論從解決國家戰(zhàn)略科學(xué)儀器“卡脖子”的角度，還是從科研儀器國產(chǎn)化需求的角度，研制800mm口徑平面干涉儀都責(zé)無旁貸。為此，公司聯(lián)合南京理工大學(xué)，于2018年5月啟動項目研發(fā)。
800mm平面干涉儀是重大光學(xué)檢測儀器，由光學(xué)系統(tǒng)、機械系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、計算機數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。光學(xué)設(shè)計部分保證干涉儀波面測試質(zhì)量、頻率傳遞能力；精密機械部分保證干涉儀標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)元件的高精度面形質(zhì)量、氣浮移動和穩(wěn)定可靠的調(diào)整。電路部分保證調(diào)整與信號采集過程的自動化；計算機軟硬件部分保證圖像采集與移相算法的同步通訊、控制及圖像處理、波長調(diào)諧移相干涉、數(shù)據(jù)處理、波面分析、Zernike多項式等軟件包的集成與結(jié)果輸出。
李金鵬博士為首的研發(fā)團隊和南理工團隊緊密合作，攻克多項關(guān)鍵技術(shù)，于2021年12月完成項目研發(fā)。該設(shè)備實現(xiàn)了大口徑平面鏡的自動化測量，能排除人工判讀或是復(fù)雜實驗步驟對測量的干擾，檢測效率與精度大幅提升。項目擁有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，技術(shù)完全自主可控。南京理工大學(xué)朱日宏教授評價說：“這臺800mm平面干涉儀是當(dāng)前國內(nèi)國產(chǎn)化程度最高、口徑最大的平面干涉儀，對于提高我國大口徑光學(xué)檢測能力具有重要意義”。
評審專家和項目成員合影
800mm平面干涉儀現(xiàn)場驗收合影